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CVD烧结管式电阻炉

一、CVD烧结管式电阻炉概述
       CVD烧结管式电阻炉主要应用于高等院校、科研院所、工矿企业等实验和小批量生产之用。主要用于粉体、电子、陶瓷等其它产品的预烧、烧结、镀膜、高温热解低温沉积(CVD)工艺等。

二、CVD烧结管式电阻炉特点
       1、炉膛材料采用陶瓷纤维,呈现温场均衡、表面温度低、升温速率快、节能等优点;
       2、电热元件采用高电阻合金丝,表面负荷高,发热速度快;
       3、炉体两端采用不锈钢密封法兰,耐高温、耐腐蚀;
       4、保护管采用高纯石英管 ,气管采用密封快接插头,安装方便;
       5、炉体采用双层空气隔热技术,配有自动冷却风扇,降低炉体外壳温度;
       6、控制系统采用40段程序控温,控温精度±1℃,移相触发、可控硅控制。

三、CVD烧结管式电阻炉参数
 项目 指标值
额定功率 4KW
额定电压 AC220V   50/60Hz
高温度 1600℃
额定温度 1500℃
升温速率 ≤10 ℃/min
炉管尺寸 Dia 80 X 1000 mm
控温精度 ±1℃
控温方式 32段程序 PID程序控温 
(日本)
热电偶型号  B型
加热元件  硅钼棒
炉管材料   99刚玉
重量 约120 Kg
炉膛材料 氧化铝多晶体纤维  氧化铝含量95% (真空成型) 美国
炉壳表面温度 ≤35 ℃

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